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半導体製造におけるセラミックロッドの適用範囲はさらに拡大しました。

2026,07,06
ウェーハ処理や高精度装置の分野では、セラミックロッドが従来の金属ガイドコンポーネントに徐々に取って代わりつつあります。高純度のアルミナとジルコニアを使用しており、金属汚染を効果的に防止し、電気絶縁性にも優れています。業界からのフィードバックでは、精密なハンドリングおよび位置決めシステムでセラミックロッドを使用すると、粒子汚染のリスクが大幅に軽減され、歩留まりが向上する可能性があることが示されています。
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